FPC(柔性线路板)检测通常从远心问题开始:量线宽、看焊盘、找 10 µm 缺陷。当零件平整、倍率固定、尺寸必须可信时,远心镜头仍是正确答案。但当同一工位要在同一节拍里既看 40 mm 的连接器区域、又看 0.5 mm 的金手指时,变倍镜头才是正确答案。
本页讲第二种情况,以及决定它的那些数字。
一个工位,多个视野。倍率可按配方切换,而不是一个镜头一个固定视野。6.5X 或 12.5X 机身:0.58X 看大范围搜索,7.5X 看金手指细节。
分辨率随倍率变化。低倍下光学分辨率比高倍粗。这就是取舍:同一支镜头既能快速找到缺陷,也足够确认缺陷,但低倍端的分辨率不会因为数码放大而变好。
WD 固定。与变倍显微系统不同,变倍镜头全段工作距离不变,这正是 FPC 夹具能做得简单的原因。
| 型号 | 变倍比 | 光学倍率 | 工作距离 | 最大传感器 | 接口 | 变倍方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PMS-MF6020 | 68.57:1 | 0.28X–19.20X | 待确认 | 待确认 | 待确认 | 待确认 |
| PMS-LZH-14105K | 14X | 0.55X–7.60X | 77.8 ± 2 mm | 2/3 Inch | 待确认 | 待确认 |
| LZL-12102-M12 | 12.5 | 0.58X–7.50X | 77.4±2 mm | 2/3英寸 | C型接口 | 手动连续变倍 |
| LZL-12107D15-M12 | 12.5 | 0.58X–7.50X | 77.4±2 mm | 2/3英寸 | C接口 | 手动变倍 |
| PMS-LZL-12100 | 12.5X | 0.58X–7.50X | 77.4 ± 2 mm | 2/3 inch | C-Mount | Manual Continuous Zoom |
| PMS-LZL-12100D15 | 12.5X | 0.58X–7.50X | 77.4 ± 2 mm | 2/3 inch | C-Mount | Manual Detented Zoom |
| PMS-LZL-12101 | 12.5X | 0.58X–7.50X | 77.4 ± 2 mm | 2/3 inch | C-Mount | Manual Zoom |
| PMS-LZL-12101D | 12.93:1 | 0.58X–7.50X | 77.4±2mm | 待确认 | 待确认 | 待确认 |
| PMS-LZL-12104-D1 | 12.5X / 12.5:1 | 0.58X–7.50X | 77.4 ± 2 mm | 2/3 Inch | C-Mount | Motorized |
| PMS-LZL-12105 | 12.5X / 12.5:1 | 0.58X–7.50X | 77.4 ± 2 mm | 2/3 Inch | C-Mount | Motorized Zoom |
| PMS-LZL-12110-Z12 | 12.5X | 0.58X–7.50X | Approx. 70 ± 2 mm to 80 ± 2 mm | 2/3 Inch | C-Mount | 待确认 |
| PMS-Z125D-CH12 | 12.5:1 | 0.58X–7.50X | 62 ± 2 mm to 74 ± 2 mm | 2/3 Inch | C-Mount | 待确认 |
| PMS-K75M | 7.35:1 | 0.68X–5.00X | 80mm | 待确认 | 待确认 | 待确认 |
| PMS-LZH-7500 | 7.35:1 | 0.68X–5.00X | 80 mm | 1 Inch | C-Mount | 待确认 |
| PMS-LZH-7501W-05 | 7.35:1 | 0.68X–5.00X | 待确认 | 待确认 | 待确认 | 待确认 |
| PMS-LZH-7504 | 7.35:1 | 0.68X–5.00X | 80 mm | 1 Inch | C-Mount | Motorized |
下表数值逐字取自站内已发布产品页;空格表示该型号未公布该项,按「待确认」处理,不等于 0。
按列读表,不要按行读:1X 的分辨率决定 20 µm 线宽能不能看清,5X 的分辨率决定 5 µm 特征能不能看清。
PMS-LZH-14105K
| 倍率 | DOF (mm) | 数值孔径 | F 数 | 分辨率 | TV 畸变 | FOV 1/3" | FOV 1/2" | FOV 2/3" |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.55X | 3.16 | 0.023 | 11.96 | 14.59 μm | <0.02% | 10.91 × 8.73 × 6.55 mm | 14.55 × 11.64 × 8.73 mm | 20.00 × 16.00 × 12.00 mm |
| 1X | 0.98 | 0.041 | 12.20 | 8.18 μm | <0.02% | 6.00 × 4.80 × 3.60 mm | 8.00 × 6.40 × 4.80 mm | 11.00 × 8.80 × 6.60 mm |
| 2X | 0.26 | 0.078 | 12.82 | 4.30 μm | <0.04% | 3.00 × 2.40 × 1.80 mm | 4.00 × 3.20 × 2.40 mm | 5.50 × 4.40 × 3.30 mm |
| 3X | 0.14 | 0.096 | 15.63 | 3.49 μm | <0.04% | 2.00 × 1.60 × 1.20 mm | 2.67 × 2.13 × 1.60 mm | 3.67 × 2.93 × 2.20 mm |
| 4X | 0.09 | 0.110 | 18.18 | 3.05 μm | <0.04% | 1.50 × 1.20 × 0.90 mm | 2.00 × 1.60 × 1.20 mm | 2.75 × 2.20 × 1.65 mm |
| 5X | 0.07 | 0.120 | 20.83 | 2.80 μm | <0.02% | 1.20 × 0.96 × 0.72 mm | 1.60 × 1.28 × 0.96 mm | 2.20 × 1.76 × 1.32 mm |
| 6X | 0.06 | 0.120 | 25.00 | 2.80 μm | <0.02% | 1.00 × 0.80 × 0.60 mm | 1.33 × 1.07 × 0.80 mm | 1.83 × 1.47 × 1.10 mm |
| 7X | 0.05 | 0.120 | 29.17 | 2.80 μm | <0.02% | 0.86 × 0.69 × 0.51 mm | 1.14 × 0.91 × 0.69 mm | 1.57 × 1.26 × 0.94 mm |
| 7.6X | 0.04 | 0.120 | 31.67 | 2.80 μm | <0.02% | 0.79 × 0.63 × 0.47 mm | 1.05 × 0.84 × 0.63 mm | 1.45 × 1.16 × 0.87 mm |
PMS-LZL-12100
| 倍率 | 景深 | NA | F 数 | 分辨率 | TV 畸变 | FOV D × H × V |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.58X | 2.75 mm | 0.025 | 12.5 | 13 μm | 0.050% | 18.97 × 15.17 × 11.38 mm |
| 0.6X | 2.67 mm | 0.025 | 12.5 | 13 μm | 0.050% | 18.33 × 14.67 × 11.00 mm |
| 1.0X | 0.95 mm | 0.043 | 11.85 | 7.8 μm | 0.002% | 11.00 × 8.80 × 6.60 mm |
| 1.5X | 0.43 mm | 0.063 | 11.95 | 5.3 μm | 0.010% | 7.33 × 5.87 × 4.40 mm |
| 2.0X | 0.27 mm | 0.074 | 13.65 | 4.53 μm | 0.020% | 5.50 × 4.40 × 3.30 mm |
| 2.5X | 0.20 mm | 0.082 | 15.3 | 4.09 μm | 0.003% | 4.40 × 3.52 × 2.64 mm |
| 3.0X | 0.15 mm | 0.090 | 16.5 | 3.73 μm | 0.020% | 3.67 × 2.93 × 2.20 mm |
| 3.5X | 0.12 mm | 0.097 | 18.4 | 3.46 μm | 0.020% | 3.14 × 2.51 × 1.89 mm |
| 4.0X | 0.10 mm | 0.100 | 19.9 | 3.36 μm | 0.018% | 2.75 × 2.20 × 1.65 mm |
| 4.5X | 0.081 mm | 0.110 | 20.4 | 3.05 μm | 0.020% | 2.44 × 1.96 × 1.47 mm |
| 5.0X | 0.073 mm | 0.110 | 22.45 | 3.05 μm | 0.010% | 2.20 × 1.76 × 1.32 mm |
| 5.5X | 0.066 mm | 0.110 | 22.7 | 3.05 μm | 0.010% | 2.00 × 1.60 × 1.20 mm |
| 6.0X | 0.061 mm | 0.110 | 26.8 | 3.05 μm | 0.001% | 1.83 × 1.47 × 1.10 mm |
| 6.5X | 0.056 mm | 0.110 | 29.4 | 3.05 μm | 0.010% | 1.69 × 1.35 × 1.02 mm |
只能替代检测环节。线宽、焊盘位置的尺寸计量仍应用远心——变倍镜头不是物方远心。
经验判据是特征至少跨 2–3 个像元。3.45 µm 像元的相机,10 µm 在 1X 下约 3 个像元,属于临界;能否检出取决于该倍率公布的光学分辨率。
齐焦的变倍镜头应全段保持焦点。跑焦说明需要先做齐焦调整再上线。
换型频繁时有:倍率变成配方参数,而不是一次机械调整动作。
先检出、后计量,变倍路线成本更低;若线宽要出证书,两条路线都要留。
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