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0.3–30mm 范围 · 精度 ±2µm · 重复性 ±0.15µm · 每秒 2400 次采样
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φ120 mm 视野 · 重复精度 ±0.2 µm · 位置精度 ±2.5 µm · 35µs 曝光
φ65 mm 视野 · 重复精度 ±0.1 µm · 位置精度 ±1.2 µm · 35µs 曝光
φ40 mm 视野 · 重复精度 ±0.08 µm · 位置精度 ±1.0 µm · 35µs 曝光
φ15 mm 视野 · 重复精度 ±0.05 µm · 位置精度 ±0.3 µm · 35µs 曝光
φ6 mm 视野 · 重复精度 ±0.03 µm · 位置精度 ±0.2 µm · 35µs 曝光
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