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250nm重复精度 ±5mm量程 高温版-10~150℃
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100nm重复精度 ±2.5mm量程 12mm参考距离
100nm重复精度 ±2.5mm量程 <0.02%低温漂
100nm重复精度 ±2mm量程 8mm参考距离
100nm重复精度 ±2mm量程 4.7mm参考距离
100nm重复精度 ±1.5mm量程 Φ8mm微型探头
140nm重复精度 ±3mm大量程 Φ30mm紧凑机身
100nm重复精度 ±2mm量程 38mm参考距离
50nm重复精度 高温版-10~150℃ ±1.3mm量程
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