±0.05mm量程3nm超高精度光谱共焦位移传感器

产品介绍

POMEAS SFS-D108 是 SFS 系列中精度等级最高的光谱共焦位移传感器，参考距离 8 mm，测量范围 ±0.05 mm，重复精度达 3 nm，线性误差＜±0.03 μm。传感器采用非接触光学测量方式，可对被测物表面的位移、高度、厚度、段差及轮廓变化进行稳定检测，特别适合高反光、透明或柔软表面等不适宜接触式测量的场景。Φ40×111.5 mm 圆柱结构、约 256 g 重量，便于集成到精密运动平台与自动化检测设备。

主要特点

• 3 nm 超高重复精度，线性误差＜±0.03 μm
• Φ2.7/5.4 μm 超小光斑，细微特征可达
• ±46.5° 大测量角度，适应倾斜表面
• 非接触光学测量，不损伤精密工件表面
• 最小可测厚度 5% F.S.，支持透明材料厚度测量
• 温度特征＜0.03% F.S./°C，IP40 防护
• 紧凑圆柱结构，易于集成

技术参数

应用领域

适用于晶圆与玻璃表面检测、精密零件位移与高度测量、透明材料厚度测量、微小段差与表面轮廓检测等纳米级精度要求的场景，可集成于自动化设备与精密运动平台。

常见问题

SFS-D108 的重复精度是多少？

重复精度 3 nm（测量标准镀银膜反射镜、1kHz 无平均、连续采集 10000 组数据的均方根偏差），线性误差＜±0.03 μm。

测量范围和参考距离是多少？

参考距离 8 mm，测量范围 ±0.05 mm（以量程中心为基准，总测量行程 0.1 mm），支持 ±46.5° 测量角度。

适合哪些测量场景？

适合晶圆、玻璃等高反光与透明表面的纳米级检测，以及精密零件的位移、高度、厚度、段差与轮廓测量。

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