3mm参考距离100nm微型光谱共焦位移传感器

产品介绍

POMEAS SFS-D1503L 是一款微型光谱共焦位移传感器，参考距离 3 mm，测量范围 ±0.75 mm，重复精度 100 nm，线性误差＜±0.75 μm。与 1.7 mm 参考距离的 D1502 相比，3 mm 的参考距离为装夹与被测面起伏留出更多余量，同样具备 Φ3.8×85 mm 微型探头与约 23 g 轻量机身，适合多探头阵列与空间受限场景的非接触精密测量。

主要特点

• 100 nm 重复精度，线性误差＜±0.75 μm
• 3 mm 参考距离，装夹余量更充足
• Φ3.8×85 mm 微型探头，仅 23 g
• ±0.75 mm 测量范围，总行程 1.5 mm
• Φ17 μm 小光斑，±12° 测量角度
• 最小可测厚度 10% F.S.，支持透明材料
• 温度特征＜0.03% F.S./°C，IP40 防护

技术参数

应用领域

适用于电子元件位移与高度测量、透明材料厚度测量、多探头阵列共面度检测、窄槽与深孔特征测量等空间受限的高精度检测场景。

常见问题

SFS-D1503L 与 SFS-D1502 有何区别？

两者探头尺寸与精度相同（100 nm），区别在参考距离：D1503L 为 3 mm，D1502 为 1.7 mm；参考距离更远意味着装夹余量更大、对被测面起伏的容忍度更高。

测量范围是多少？

测量范围 ±0.75 mm（以量程中心为基准，总测量行程 1.5 mm），支持 ±12° 测量角度。

可以测量透明材料厚度吗？

可以。光谱共焦原理可对透明材料上下表面分别聚焦，最小可测厚度 10% F.S.，适合玻璃、薄膜等透明材料。

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