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100nm重复精度 ±2.5mm量程 <0.02%低温漂
0
100nm重复精度 ±2.5mm量程 12mm参考距离
250nm重复精度 ±5mm量程 高温版-10~150℃
300nm重复精度 ±8mm大量程 55mm参考距离
290nm重复精度 ±10mm大量程 60mm参考距离
290nm重复精度 ±10mm量程 高温版-10~150℃
850nm重复精度 ±25mm超大量程 100mm参考距离
850nm重复精度 ±25mm量程 高温版-10~150℃
140nm重复精度 ±3.5mm量程 ±15.5°测量角度
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