SFS-D606 光谱共焦位移传感器,参考距离 6.5 mm,测量范围 ±0.3 mm,重复精度 16 nm,线性误差<±0.12 μm,Φ20×110 mm 轻巧机身仅 73 g,适用于空间受限的高精度非接触检测。
POMEAS SFS-D606 是一款轻巧型高精度光谱共焦位移传感器,参考距离 6.5 mm,测量范围 ±0.3 mm,重复精度 16 nm,线性误差<±0.12 μm。Φ20×110 mm 的纤细机身与约 73 g 的重量,使其特别适合安装空间受限的多传感器阵列场景;非接触光学测量方式适用于高反光与透明表面检测。

| 产品型号 | SFS-D606 |
|---|---|
| 参考距离 | 6.5 mm |
| 测量范围 | ±0.3 mm |
| 总测量行程 | 0.6 mm |
| 测量角度 | ±32.5° |
| 光斑直径 | Φ8/16 μm |
| 重复精度 | 16 nm |
| 线性误差 | <±0.12 μm |
| 外形尺寸 | Φ20×110 mm |
| 产品重量 | 73 g |
| 最小可测厚度 | 5% F.S. |
| 温度特征 | <0.03% F.S./°C |
| 防护等级 | IP40 |
| 测量方式 | 非接触光学测量 |
| 品牌 | POMEAS |
适用于多传感器阵列测量、电子元件共面度与段差检测、玻璃与薄膜厚度测量、精密位移与振动分析等空间受限的高精度检测场景。

外形尺寸 Φ20×110 mm,重量约 73 g,属于轻巧型设计,适合多传感器密集排布与空间受限的安装场景。
重复精度 16 nm,线性误差<±0.12 μm(纳米级高精度激光干涉仪标定验证)。
SFS-D606 光斑直径 Φ8/16 μm,小光斑可进入窄槽与细小特征内部,提升边缘与细微结构的测量能力。
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