白光干涉仪选型清单：询价前要准备哪些信息

这类设备通常不是「一台标准机」，而是按样品和检测项目配置的系统。询价时少给一项信息，后面往往要用两轮往返补回来。

第一类：样品基本属性

需要说明样品材质、表面处理工艺、整体尺寸和重量。材质和表面工艺决定反射率与可测性，尺寸和重量决定平台行程与载重需求。设备配 50 × 50 mm 电动 XY 平台，Z 轴调节为 20 mm 电动加 75 mm 手动，超出这个范围的样品需要另行确认平台与立柱配置。

如果样品类型很多，建议挑出尺寸最大、最重和表面最难测的三件作为边界样品，按这三项边界来定配置，比按平均值配置更稳妥。

边界样品法还有一个好处：后续新增样品时，只需判断它是否落在这三项边界之内，不必每次都重新做完整选型。

若样品类型较多，可先列出清单再挑边界样品，避免逐件评估。

边界样品法能减少反复。

第二类：测量区域与视场要求

需要说明要测的具体区域大小，以及最小要分辨的特征尺寸。区域大小决定用不用拼接、拼多少次；最小特征尺寸决定物镜倍率。参考基准是 20 倍物镜下单次测量视场 500 × 350 μm、横向分辨率 0.69 μm，两者此消彼长，这两个数一起给才能定倍率。

给出区域大小时最好附一张标注图，标明必测区域和可选区域。这样供应商可以判断哪些区域必须进单次视场，哪些可以靠拼接。

标注图还应当标出装夹位置和避让区域，避免推荐的平台配置在现场因干涉而无法使用。

最小特征尺寸建议按设计图纸上的公差带下限来给，不要按经验估计。

标注图比文字描述更有效。

一张标注图通常比大段文字描述更有效。

第三类：精度与高度范围

需要给出预计粗糙度范围、最大台阶或高度差，以及目标测量精度。粗糙度范围决定是否能用相移模式；最大高度差决定扫描行程，设备 Z 向扫描范围为 0–10 mm；目标精度决定是否需要更严的环境与隔振配置。这三项里最大台阶高度最容易漏填，而它恰恰直接决定扫描配置。

如果暂时拿不准最大高度差，可以先给出设计图纸上的理论值和已观察到的最大值，并注明是估算，供应商会据此留出余量。

留出余量的原则同样适用于精度要求：按目标精度留出一定的余量，可以给后续工艺收紧留出空间。

目标精度还应说明是单次测量的重复性还是与真值的偏差，两者要求不同。

估算值也要注明，便于留余量。

第四类：效率与批量要求

需要说明每天测多少件、每件测几个区域、是否需要自动测量与无人值守。相移模式在光滑面上单次测量时间可小于 5 秒，垂直扫描与拼接会显著拉长时间。节拍要求高时，应优先考虑把关键区域压进单次视场，而不是靠提高倍率换取分辨率。

节拍计算时别忘了把装夹、对焦、清洁和数据分析的时间算进去。实际产线上这些辅助时间往往比扫描本身更长。

如果产线是连续运行，还应考虑设备的连续工作时间与稳定性，长时间运行下的热漂移同样会影响结果。

把辅助时间纳入节拍计算，能避免设备到场后发现产能达不到预期。

辅助时间常被低估。

辅助时间在估算中最常被低估。

第五类：输出与数据对接

设备可输出三维点云、灰度图像、三维形貌图、截面轮廓曲线以及定制检测报告。签约前应确认四件事：报告格式能否对接现有质量系统、原始数据能否导出留存、统计参数与滤波条件能否固化在模板里、是否需要与 SPC 系统打通。这四项后期改动成本远高于前期确认成本。

如果后续有上 SPC 的打算，最好在第一次采购时就把数据接口谈定，二期改造通常比一期配置贵得多。

数据对接还应确认原始数据的保存格式与留存期限，这两项在质量体系审核时经常被要求提供。

数据留存期限也建议一并确认，质量审核时通常需要调阅历史原始数据。

接口二期改造通常更贵。

接口放到二期改造通常会更贵。

第六类：验收方式

建议一开始就约定验收方法：用哪几件实际样品、测哪几个特征、用什么参数与滤波条件、重复测量几次、判定限怎么定。用实际样品而不是标准块验收，能同时验证可测性、配置合理性和操作便利性。验收方式写进合同，能避免交付阶段的大部分争议。

用实际样品验收还有一个好处：它可以同时检验操作便利性，例如装夹是否方便、对焦是否顺畅，这些在标准块上是试不出来的。

验收样品建议在合同里固定下来，包括样品编号与保存方式，避免交付时因样品状态变化产生争议。

验收时还应确认操作培训是否完成，人员操作差异同样会影响结果稳定性。

培训完成同样应列入验收项。

操作培训完成也应列入验收项。

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常见问题

询价最少要给哪些信息

建议提供六类：样品属性、测量区域与最小特征尺寸、粗糙度范围与最大高度差、目标精度、效率与批量要求、输出与数据对接方式，信息越全往返越少。

为什么一定要给最大台阶高度

它直接决定扫描行程配置。设备 Z 向扫描范围为 0–10 mm，高度差估计不足会导致现场测不了，估计过大又会牺牲分辨能力。

物镜倍率怎么定

由最小特征尺寸与测量区域共同决定。以 20 倍下视场 500 × 350 μm、横向分辨率 0.69 μm 为基准，提高倍率改善分辨率但缩小视场，两者此消彼长。

节拍要求高应该怎么配

优先把关键区域压进单次视场，减少拼接；光滑面可用相移模式，单次测量时间可小于 5 秒。靠提高倍率换分辨率通常会显著拉长节拍。

输出报告能对接质量系统吗

设备支持输出三维点云、灰度图像、三维形貌图、截面轮廓曲线与定制检测报告，具体的格式对接与 SPC 打通应在签约前确认，后期改动成本更高。

验收用什么样品比较合适

建议用实际样品而不是标准块，并事先约定测哪些特征、用什么参数与滤波条件、重复几次、判定限怎么定，写进合同可避免交付争议。

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