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140nm重复精度 ±3.5mm量程 ±21°测量角度
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200nm重复精度 ±3.5mm量程 70mm参考距离
250nm重复精度 ±4mm量程 Φ23mm探头仅29g
250nm重复精度 ±4mm量程 48.5mm短探头仅29g
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