1.7mm参考距离100nm微型光谱共焦位移传感器

产品介绍

POMEAS SFS-D1502 是一款微型光谱共焦位移传感器，参考距离 1.7 mm，测量范围 ±0.75 mm，重复精度 100 nm，线性误差＜±0.75 μm。Φ3.8×85 mm 的纤细探头与约 23 g 的重量，可深入窄槽、孔洞等狭小空间，适合多探头密集安装；非接触光学测量方式适用于高反光、透明或柔软表面的位移、厚度与轮廓检测。

主要特点

• 100 nm 重复精度，线性误差＜±0.75 μm
• Φ3.8×85 mm 微型探头，仅 23 g，深入狭小空间
• ±0.75 mm 测量范围，总行程 1.5 mm
• Φ17 μm 小光斑，细微特征可达
• ±12° 测量角度
• 最小可测厚度 10% F.S.，支持透明材料
• 温度特征＜0.03% F.S./°C，IP40 防护

技术参数

应用领域

适用于电子元件共面度与段差检测、窄槽与孔洞内壁测量、玻璃与薄膜厚度测量、精密位移与振动分析等安装空间受限的高精度检测场景。

常见问题

SFS-D1502 的探头尺寸是多少？

探头外径 Φ3.8 mm、长度 85 mm，重量约 23 g，属于微型探头设计，可深入窄槽与孔洞等狭小空间测量。

重复精度是多少？

重复精度 100 nm（测量标准镀银膜反射镜、1kHz 无平均、连续采集 10000 组数据的均方根偏差），线性误差＜±0.75 μm。

参考距离 1.7 mm 意味着什么？

参考距离是探头到被测面的标称工作距离。1.7 mm 的近参考距离适合紧凑装夹的场合，测量范围为 ±0.75 mm（总行程 1.5 mm）。

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