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3.92mm参考距离80nm微型光谱共焦位移传感器
SFS-D1504 微型光谱共焦位移传感器，参考距离 3.92 mm，测量范围 ±0.75 mm，重复精度 80 nm，线性误差＜±0.3 μm，Φ8×68.8 mm 紧凑探头仅 23 g，适用于高精度非接触位移检测。
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产品介绍
POMEAS SFS-D1504 是一款高精度微型光谱共焦位移传感器，参考距离 3.92 mm，测量范围 ±0.75 mm，重复精度 80 nm，线性误差＜±0.3 μm。Φ8×68.8 mm 紧凑探头与约 23 g 轻量机身，便于集成到自动化设备与多传感器阵列；±14° 测量角度与 Φ20 μm 光斑，可在倾斜表面与细微特征上保持稳定测量。
主要特点
- 80 nm 重复精度，线性误差＜±0.3 μm
- Φ8×68.8 mm 紧凑探头，仅 23 g
- ±0.75 mm 测量范围，总行程 1.5 mm
- ±14° 测量角度，适应倾斜表面
- Φ20 μm 光斑，细微特征可达
- 最小可测厚度 10% F.S.，支持透明材料
- 温度特征＜0.03% F.S./°C，IP40 防护
技术参数
| 产品型号 | SFS-D1504 |
|---|---|
| 参考距离 | 3.92 mm |
| 测量范围 | ±0.75 mm |
| 总测量行程 | 1.5 mm |
| 测量角度 | ±14° |
| 光斑直径 | Φ20 μm |
| 重复精度 | 80 nm |
| 线性误差 | ＜±0.3 μm |
| 外形尺寸 | Φ8×68.8 mm |
| 产品重量 | 23 g |
| 最小可测厚度 | 10% F.S. |
| 温度特征 | ＜0.03% F.S./°C |
| 防护等级 | IP40 |
| 测量方式 | 非接触光学测量 |
| 品牌 | POMEAS |
应用领域
适用于精密零件位移与高度测量、透明玻璃与薄膜厚度测量、段差与共面度检测、表面轮廓扫描等高精度非接触测量场景。
常见问题
SFS-D1504 的精度表现如何？
重复精度 80 nm，线性误差＜±0.3 μm（采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证）。
探头尺寸和重量是多少？
外形尺寸 Φ8×68.8 mm，重量约 23 g，结构紧凑，便于装夹与多传感器密集排布。
最大测量角度是多少？
支持 ±14° 测量角度（使用标准平面反射镜、1kHz 采样率下倾斜测试），可适应一定倾斜范围的被测表面。
相关阅读：光谱共焦位移传感器产品列表｜激光测量仪器产品中心
- 产品型号
- SFS-D1504
- 产品重量
- 23 g
- 光斑直径
- Φ20 μm
- 参考距离
- 3.92 mm
- 品牌
- POMEAS
- 外形尺寸
- Φ8×68.8 mm
- 总测量行程
- 1.5 mm
- 最小可测厚度
- 10% F.S.
- 测量方式
- 非接触光学测量
- 测量范围
- ±0.75 mm
- 测量角度
- ±14°
- 温度特征
- ＜0.03% F.S./°C
- 线性误差
- ＜±0.3 μm
- 重复精度
- 80 nm
- 防护等级
- IP40
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