5.75mm参考距离80nm微型光谱共焦位移传感器

产品介绍

POMEAS SFS-D1506L 是一款高精度微型光谱共焦位移传感器，参考距离 5.75 mm，测量范围 ±0.75 mm，重复精度 80 nm，线性误差＜±0.3 μm。相比 3.92 mm 参考距离的 D1504，5.75 mm 的参考距离提供更充足的装夹与运动空间；Φ8×70.2 mm 紧凑探头与约 23 g 机身，适合多传感器阵列与狭小安装位的高精度非接触测量。

主要特点

• 80 nm 重复精度，线性误差＜±0.3 μm
• 5.75 mm 参考距离，装夹空间充足
• Φ8×70.2 mm 紧凑探头，仅 23 g
• ±0.75 mm 测量范围，总行程 1.5 mm
• ±14° 测量角度，Φ20 μm 光斑
• 最小可测厚度 10% F.S.，支持透明材料
• 温度特征＜0.03% F.S./°C，IP40 防护

技术参数

应用领域

适用于精密零件位移与高度测量、透明材料厚度测量、振动与段差检测、多探头阵列测量等需要兼顾工作距离与安装空间的高精度场景。

常见问题

SFS-D1506L 与 SFS-D1504 有何区别？

两者精度相同（80 nm），区别在参考距离与探头长度：D1506L 参考距离 5.75 mm、探头长 70.2 mm；D1504 参考距离 3.92 mm、探头长 68.8 mm。工作距离更远时装夹与运动空间更充足。

重复精度是多少？

重复精度 80 nm，线性误差＜±0.3 μm（纳米级高精度激光干涉仪标定验证）。

适合哪些安装场景？

Φ8×70.2 mm、23 g 的紧凑设计适合多传感器密集排布与狭小安装位，5.75 mm 参考距离为装夹与被测面起伏留出余量。

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