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±1.3mm量程50nm光谱共焦位移传感器
SFS-D2615 光谱共焦位移传感器，参考距离 15 mm，测量范围 ±1.3 mm，重复精度 50 nm，线性误差＜±0.26 μm，支持 ±31° 大测量角度，适用于精密位移、厚度与轮廓的非接触高精度检测。
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产品介绍
POMEAS SFS-D2615 是一款高精度光谱共焦位移传感器，参考距离 15 mm，测量范围 ±1.3 mm，重复精度 50 nm，线性误差＜±0.26 μm。±31° 的大测量角度使其在曲面与斜面检测中保持稳定输出，非接触光学测量方式避免划伤精密工件表面；Φ36×97.9 mm 结构与约 228 g 重量便于装夹与集成。
主要特点
- 50 nm 重复精度，线性误差＜±0.26 μm
- ±1.3 mm 测量范围，总行程 2.6 mm
- ±31° 大测量角度，适应曲面与斜面
- Φ9/18/144 μm 三模式光斑
- 非接触测量，不损伤精密表面
- 最小可测厚度 5% F.S.，支持透明材料
- 温度特征＜0.03% F.S./°C，IP40 防护
技术参数
| 产品型号 | SFS-D2615 |
|---|---|
| 参考距离 | 15 mm |
| 测量范围 | ±1.3 mm |
| 总测量行程 | 2.6 mm |
| 测量角度 | ±31° |
| 光斑直径 | Φ9/18/144 μm |
| 重复精度 | 50 nm |
| 线性误差 | ＜±0.26 μm |
| 外形尺寸 | Φ36×97.9 mm |
| 产品重量 | 228 g |
| 最小可测厚度 | 5% F.S. |
| 温度特征 | ＜0.03% F.S./°C |
| 防护等级 | IP40 |
| 测量方式 | 非接触光学测量 |
| 品牌 | POMEAS |
应用领域
适用于精密零件位移与高度测量、透明玻璃与薄膜厚度测量、曲面段差检测、表面轮廓扫描等高精度非接触测量场景。
常见问题
SFS-D2615 的精度表现如何？
重复精度 50 nm，线性误差＜±0.26 μm（采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证），支持 ±31° 大测量角度。
测量范围和参考距离是多少？
参考距离 15 mm，测量范围 ±1.3 mm（以量程中心为基准，总测量行程 2.6 mm）。
可以测量透明材料吗？
可以。光谱共焦原理可对透明材料上下表面分别聚焦，最小可测厚度 5% F.S.，适合玻璃、薄膜等透明材料。
相关阅读：光谱共焦位移传感器产品列表｜激光测量仪器产品中心
- 产品型号
- SFS-D2615
- 产品重量
- 228 g
- 光斑直径
- Φ9/18/144 μm
- 参考距离
- 15 mm
- 品牌
- POMEAS
- 外形尺寸
- Φ36×97.9 mm
- 总测量行程
- 2.6 mm
- 最小可测厚度
- 5% F.S.
- 测量方式
- 非接触光学测量
- 测量范围
- ±1.3 mm
- 测量角度
- ±31°
- 温度特征
- ＜0.03% F.S./°C
- 线性误差
- ＜±0.26 μm
- 重复精度
- 50 nm
- 防护等级
- IP40
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