面板级封装要测的是三件不同的事:2D 线扫测横向尺寸、3D 白光干涉测高度、1D 光谱反射测膜厚,三条通道的失效原因各不相同。本文说明每个公差该归哪一条,并按 700 mm 板宽把像素采样这笔账算一遍。
误差预算把仪器精度、走线漂移、振动、热变形、污染和标定漂移逐项列出并合成。本文以LM-1030已公布数值作为仪器项,说明精度与重复性的区别、随机项与系统性项分别如何合成,并给出可核对算例,帮助判断透射光方案是否成立。
35微秒曝光可以在产品不停顿的情况下冻结运动影像并完成光学测量。本文给出可自行核对的运动量算式、短曝光带来的进光量代价、双远心光学为何同样关键,以及这套方案在哪些工况下不再成立,并说明全检与抽检的判断依据。
普密斯HM系列在线图像测量头覆盖6毫米至120毫米测量视野,五个型号对应不同的重复精度与位置测量精度。本页列出完整型号矩阵、双远心光学设计为何能稳定读数,以及选型时应先确定的顺序,并说明±0.03微米重复精度应当如何理解。
普密斯在线数字测径仪LM-1030测量范围0.3至30毫米,测量精度±2微米,重复性±0.15微米,采样率2400次/秒。本文逐项列出已公布的规格数据、每项数值的前提条件,以及哪些测量任务不适合这台仪器。
闪测仪一键检测CNC加工件:外径、总长、槽径槽宽一次成像读出,IMAGE 3系列型号量程与精度条件对照,同轴度与螺纹中径的可测边界说明。
在线尺寸测量按「被测的是什么尺寸」选原理,而不是按精度排序:透射式光电测径测外径(LM-1030:0.3–30 mm、2,400 次/秒),光谱共焦测距离换算厚度高度段差(SFS-D 系列量程从 ±0.05 mm/3 nm 到 150 mm 参考距离/1,550 nm),视觉测 2D 几何与轮廓。本文给出决策表与三项常被忽略的检查。
工业现场说的「显微镜」其实是四条不同的光路:常规无限远显微、电动变倍自动对焦显微、激光自动对焦显微、白光干涉。它们回答的是四个不同的问题,选型的起点是这台工位要输出什么——一张供人判断的图像、一个尺寸,还是一组表面数值。本文给出决策表与切换光路前的四项核对。
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