保留原有 AOI 相机与多色光源,把成像视野从 17.3 × 17.3 mm 缩到 12 × 12 或 8 × 8 mm。含由铭牌反推有效成像宽度、两条镜头路线的实参对比,以及工作距离从 150 mm 降到 40–110 mm 的机械代价。
光学计量模块从设计到批量生产要过六道关口:光学可行性、样图与 MTF、机械热原型、量具重复性、试产批与来料检验、变更管理。本文逐项列出所需证据与典型失败方式,并给出真正能在供应商与 OEM 之间传递的规格字段。
机械臂旁的相机光学工位何时值得立项:本文按不确定度预算、几何、节拍与接口归属的顺序给出判断依据,用具体数字算出扩展不确定度占公差的比例,并指出相机工位不适合充当测量仪器的情形,另附试点验证协议与接口归属清单。
HBM 与 WLP 产线同时回答两个问题:高度是多少、外观是否合格。本文说明为什么 3D 高度计量与 2D 缺陷复检必须使用分开的光学链路,并给出数值孔径、采样与景深的折算算例,明确可见光复检工位的能力边界。
为什么可见光 AOI 工位与 1200-1800 nm 激光层析裂纹检测系统必须是两台设备:本文按物理原理拆分玻璃芯基板的三类检测任务,给出 TGV 面板的视场折算、ABF 积层线宽与通孔锥度的算例,并标明表面工位的能力边界。
POMEAS HM 系列在线图像测量头对光纤组件两个微孔的实测数据:10 工件、每件 5 次,合并组内标准差 0.39–0.50 μm,原始数据完整公开。
SiC 晶圆 1μm 缺陷检不出,通常不是像素不够而是光学分辨率不够。12.5X 变倍镜头 7.5X 端采样 0.46μm/pixel,规格书标称分辨率仅 3.05μm(N.A. 0.11)。本文给出采样计算公式、三种检测模态分工、MPO 物镜与激光自动对焦的选型边界。
600 × 600 mm 的面板在 20 mm 视野下要拍 1,156 个视野,放大到 50 mm 视野只要 196 个。本文把大幅面 AOI 的视野预算、重叠率与节拍账一次算清楚,并指出预算真正花在哪里。
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