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146 mm 焦距，82 mm 最大像面，M72 接口，畸变 <0.002%
0
0.58X–7.5X 连续变倍，77.4±2 mm 工作距离，RS232 控制，2/3 英寸靶面
99
φ6 mm 视野 · 重复精度 ±0.03 µm · 位置精度 ±0.2 µm · 35µs 曝光
98
φ15 mm 视野 · 重复精度 ±0.05 µm · 位置精度 ±0.3 µm · 35µs 曝光
φ40 mm 视野 · 重复精度 ±0.08 µm · 位置精度 ±1.0 µm · 35µs 曝光
φ65 mm 视野 · 重复精度 ±0.1 µm · 位置精度 ±1.2 µm · 35µs 曝光
φ120 mm 视野 · 重复精度 ±0.2 µm · 位置精度 ±2.5 µm · 35µs 曝光
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