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Champ φ15 mm · répétabilité ±0.05 µm · exactitude de position ±0.3 µm · exposition 35 µs
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Champ φ40 mm · répétabilité ±0.08 µm · exactitude de position ±1.0 µm · exposition 35 µs
Champ φ65 mm · répétabilité ±0.1 µm · exactitude de position ±1.2 µm · exposition 35 µs
Champ φ120 mm · répétabilité ±0.2 µm · exactitude de position ±2.5 µm · exposition 35 µs
Plage 0.3–30 mm · exactitude ±2 µm · répétabilité ±0.15 µm · 2400 échantillons/s
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