光学轮廓仪的指标表里,纵向分辨率、横向分辨率、扫描范围、相机像素、平台行程是五件不同的事。逐项说明它们各自回答什么问题、怎么换算成实际能测的视场与采样间隔,以及指标表上通常不会写的那几项。附各项指标的换算方法与询价时需要主动确认的四项内容。
同一台白光干涉仪通常带着相移干涉、垂直扫描干涉、超景深和明场四种模式,选错模式比选错设备更容易得到错误结论。给出四种模式各自适用的表面类型、测量时间与量程差别,以及按表面状态选择的三步判断。文末给出按表面状态选择的三步判断与选错模式的典型后果。
白光干涉测高的关键不是「拍清楚」,而是找到每个像素干涉条纹对比度最大的那个 Z 位置。讲清干涉条纹的来源、白光相干长度短带来的定位能力、Z 向扫描如何重建高度图,以及原理带来的两条硬性限制。文末附原理到选型的三条推论与两个常见误解的澄清。
白光干涉仪是测「高度」的仪器,不是拍清楚图像的仪器。说明它用干涉条纹加 Z 向扫描重建三维形貌的原理位置,与显微镜、二维影像测量仪在观察、二维尺寸、三维形貌三类任务上的分工边界,以及哪些工件不该交给它。文末给出三类任务的对照表与判断顺序,便于现场快速分流。
远心镜头装到产线后最常见的问题不是镜头坏了,而是垂直度、工作距离与光源没对齐。给出四步装调顺序与虚焦、暗角、尺寸漂移、倍率变化的排查路径。并按现象反查原因,说明倍率随时间漂移时先查机械锁紧再谈参数,以及基线图该拍哪些内容、多久复拍一次。
大视野双远心分两条路线:双侧双倍与 F 卡口。用普密斯 PMS-LTDC00880176-120 与 PMS-LTFM0106-468 的真实规格说明各自适合什么工件,以及体积与成本代价。并说明双侧双倍与 F 卡口两条路线各自的体积代价,以及什么情况下不值得上大视野方案。
普密斯远心镜头型号里的 C 后缀代表同轴照明版。说明同轴版与非同轴版的结构差别、适用工件与代价,附 PMS-LTC2-110 与 PMS-LTC2-110C 的规格对照。并附 PMS-LTC2-110 与 PMS-LTC2-110C 的规格对照,说明镜面工件与已有背光场景该怎么取舍。
远心镜头压住了透视误差,但标定的活儿一件没少。给出像素当量标定、畸变补偿与复验的完整顺序,以及换倍率、换相机、改工作距离后必须重标的判断线。同时给出换倍率、换相机、改工作距离后必须重标的判断线,以及标定结果的管理与复验节奏。
远心镜头只接收接近平行光轴的光线,普通发散背光会在边缘被光阑拦截。说明远心平行光源的配合原理,以及普密斯 30–265mm 远心平行 LED 背光源的选型口径。同时给出出光口径、工作距离与工件余量的三项核对,以及装机后的验证方法。
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