POMEAS Focus X Système de microscopie à autofocus laser | Tourelle motorisée et capteur de mise au point coaxial
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POMEAS Focus X Système de microscopie à autofocus laser | Tourelle motorisée et capteur de mise au point coaxial

POMEAS Focus X intègre un autofocus laser, une tourelle d'objectifs motorisée, un éclairage coaxial et une caméra industrielle pour une inspection de précision en temps réel et répétable sur des grossissements de 2X à 50X.

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Présentation générale

POMEAS Focus X est une plateforme modulaire de microscopie à autofocus laser conçue pour l'inspection industrielle de précision. Elle combine un capteur de mise au point laser coaxial, une tourelle d'objectifs motorisée, un module de tube de microscope, des objectifs APO, un éclairage coaxial et une caméra industrielle pour offrir une mise au point rapide et répétable de 2X à 50X de grossissement.

Système de microscopie à autofocus laser POMEAS Focus X

Spécifications clés

ParamètreSpécification
Grossissement2X (en option) / 5X / 10X / 20X / 50X
Profondeur de champ91 / 14 / 3.5 / 1.6 / 0.9 μm
Fréquence de mise au point laser5000 Hz (max.)
Plage de travail de la mise au point laser±7000 / ±3000 / ±1500 / ±600 / ±250 μm
Précision de mise au point1/4" de profondeur de champ
Temps de cycle de l'autofocus≤ 0.4 s
Température de fonctionnement5 °C à 50 °C
Course de l'axe Z±15 mm
Tourelle d'objectifs4 trous / 5 trous motorisé ou linéaire en ligne
Répétabilité de positionnement de la tourelle< 3 μm (motorisé) / < 0.5 μm (linéaire)
Temps de commutation de la tourelle< 2 s (motorisé) / < 1.5 s (linéaire)
Interface de commandeRS232
Objectifs compatiblesObjectifs APO / plans de 2X à 100X
Vue d'ensemble du Focus X

Caractéristiques principales

  • Autofocus laser coaxial — maintient les échantillons nets sur des surfaces statiques ou en mouvement sans occultation.
  • Boucle de mise au point haute vitesse — fréquence de rafraîchissement interne de 10 kHz avec une sortie jusqu'à 6.5 kHz pour une mise au point rapide et stable.
  • Tourelle d'objectifs motorisée — bascule automatiquement entre 4 ou 5 objectifs avec une répétabilité submicronique.
  • Intégration modulaire — le tube du microscope, le module de mouvement de mise au point et la caméra peuvent être configurés pour des ensembles personnalisés.
  • Prise en charge de deux caméras — le tube du microscope prend en charge des capteurs jusqu'à Φ44 mm et peut accueillir deux caméras.
Capteur de mise au point laser coaxial Focus X

Applications types

  • Inspection des wafers et boîtiers semi-conducteurs
  • Métrologie des pistes et joints de soudure PCB
  • Détection des défauts de surface métallique
  • Contrôle qualité des connecteurs de précision
  • Surveillance des procédés de soudage et de découpe laser
  • Analyse de matériaux en laboratoire

Détails du produit

Tourelle d'objectifs motorisée Focus XStructure mécanique du Focus XModules du système Focus X

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