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85 nm de répétabilité, plage ±1 mm, mesure sans contact
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250 nm de répétabilité, plage ±4 mm, mesure sans contact
200 nm de répétabilité, plage ±3.5 mm, mesure sans contact
140 nm de répétabilité, plage ±3.5 mm, mesure sans contact
850 nm de répétabilité, plage ±25 mm, mesure sans contact
290 nm de répétabilité, plage ±10 mm, mesure sans contact
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