Interféromètre 3D WLI 100 : résolution verticale <0,2 nm, balayage Z 0–10 mm et modes PSI/VSI pour la rugosité, les marches et le profil de surface.
PMS-WLI100 est un interféromètre 3D en lumière blanche destiné à la mesure sans contact de la rugosité, de la hauteur de marche, de la profondeur de rainure et de la planéité. Les valeurs ci-dessous proviennent de la spécification publiée.
Modèle WLI 100 ; modes PSI, VSI, profondeur de champ étendue et champ clair ; résolution verticale <0,2 nm ; balayage de l'axe Z de 0 à 10 mm.
| Spécification | Valeur |
|---|---|
| Modèle | WLI 100 |
| Modes de mesure | PSI / VSI / profondeur de champ étendue / champ clair |
| Résolution verticale | <0,2 nm |
| Plage de balayage de l'axe Z | 0–10 mm |
| Temps de mesure | <5 s, mode PSI |
| Réflectivité de l'échantillon | 0,1–100% |
| Capteur de caméra | 1920 × 1200 pixels |
| Objectifs disponibles | 5×, 10×, 50×, 100× |
| Objectif interférométrique | 20× |
| Course de la platine XY | 50 × 50 mm, motorisée |
| Réglage angulaire | ±12°, manuel |
| Données de sortie | nuage de points 3D, image en niveaux de gris, rapport imprimable |
PMS-WLI100 est un interféromètre 3D en lumière blanche destiné à la mesure sans contact de la rugosité, de la hauteur de marche, de la profondeur de rainure et de la planéité. Les valeurs ci-dessous proviennent de la spécification publiée.
Le mode PSI convient aux surfaces lisses lorsque la résolution verticale est prioritaire. Le mode VSI couvre des écarts de hauteur plus larges et des reliefs discontinus. L'objectif se choisit selon le champ requis et la taille de la zone à mesurer.
Fixez rigidement l'échantillon, réduisez les vibrations et stabilisez la température. Vérifiez le résultat avec un étalon ; toute tolérance annoncée doit être liée à l'objectif, au mode et aux conditions de mesure utilisés.
Il sert à mesurer sans contact la rugosité, la hauteur de marche, la profondeur de rainure, la planéité et la microtopographie 3D d'une surface.
PSI vise les surfaces lisses et une résolution verticale très élevée. VSI est préférable pour une plage de hauteur plus large ou un relief discontinu.
Le système peut fournir un nuage de points 3D, une image en niveaux de gris et un rapport imprimable. Le contenu du rapport dépend de la configuration logicielle retenue.
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