±0.2mm量程12nm高精度光谱共焦位移传感器

产品介绍

POMEAS SFS-D410 是一款高精度光谱共焦位移传感器，参考距离 10 mm，测量范围 ±0.2 mm，重复精度 12 nm，线性误差＜±0.08 μm。±43° 的大测量角度使其能够适应较大倾斜范围的被测表面，在曲面与斜面检测中保持稳定输出。非接触光学测量方式避免划伤精密工件表面，Φ40×99.4 mm 结构与约 186 g 重量便于装夹与集成。

主要特点

• 12 nm 重复精度，线性误差＜±0.08 μm
• ±0.2 mm 测量范围，总行程 0.4 mm
• ±43° 大测量角度，适应曲面与斜面
• Φ7/14/112 μm 三模式光斑
• 非接触测量，不损伤精密表面
• 温度特征＜0.03% F.S./°C，IP40 防护
• 最小可测厚度 5% F.S.

技术参数

应用领域

适用于精密零件位移与高度测量、透明玻璃与薄膜厚度测量、曲面段差检测、表面轮廓扫描等高精度非接触测量场景。

常见问题

SFS-D410 的精度表现如何？

重复精度 12 nm，线性误差＜±0.08 μm（采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证）。

最大测量角度是多少？

支持 ±43° 测量角度（使用标准平面反射镜、1kHz 采样率下倾斜测试），可适应较大倾斜范围的被测表面。

SFS-D410 与 SFS-D108 有何区别？

D410 量程更大（±0.2 mm vs ±0.05 mm）、参考距离更远（10 mm vs 8 mm），精度略低（12 nm vs 3 nm）；D108 追求极限精度，D410 兼顾量程与精度。

相关阅读：光谱共焦位移传感器产品列表｜激光测量仪器产品中心